**屹唐股份拟投 18 亿建半导体装备基地,聚焦刻蚀去胶设备量产** _屹唐股份:拟投资18亿元建设半导体装备制造基地项目_ > 屹唐股份公告计划通过全资子
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**屹唐股份拟投 18 亿建半导体装备基地,聚焦刻蚀去胶设备量产**
_屹唐股份:拟投资18亿元建设半导体装备制造基地项目_
> 屹唐股份公告计划通过全资子公司在北京经济技术开发区投资约 18 亿元,建设半导体集成电路装备制造基地。项目将规模化生产干法去胶、快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理等关键设备。目前项目用地需通过招拍挂程序,且尚需办理备案、环评等手续,存在一定不确定性。
**来源信息**
- **来源**:36氪(RSS)
- **分类**:行业
- **发布时间**:2026-10-29 17:45(北京时间)
- **原文**:[打开原文](https://36kr.com/newsflashes/4046768624653186?f=rss)