**国仪量子发布 200kV 透射电镜，实现 0.1 纳米分辨率并量产交付，加速半导体国产替代**

_半导体眼睛国产替代 | 国仪量子 200kV 透射电镜做到 0.1 纳米分辨率，已可量产交付_

> 在 10 月 18 日于南京举办的全国电子显微学学术年会上，国仪量子正式发布了 200kV 场发射透射电镜 TEMF200，并同步推出了首台国产 TEM 专用光纤耦合 CMOS 相机。该设备达到了 0.1 纳米的分辨率，标志着国产高端透射电镜在性能上取得重大突破，能够有效打破国外垄断，推动半导体行业的国产化进程。

**来源信息**
- **来源**：机器之心：文章库（API）
- **分类**：行业
- **发布时间**：2026-10-21 10:31（北京时间）
- **原文**：[打开原文](https://www.jiqizhixin.com/articles/2026-10-21-3)