**超纯应材：5nm 及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产**

_超纯应材：5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产_

> 超纯应材在互动平台确认，其 5nm 及以下制程刻蚀设备核心零部件已实现稳定量产。

**来源信息**
- **来源**：36氪（RSS）
- **分类**：行业
- **发布时间**：2026-10-20 11:49（北京时间）
- **原文**：[打开原文](https://36kr.com/newsflashes/4033672035095682?f=rss)