**佳能发布 KrF 光刻机 FPA-6400ES6a：宣称实现 4.0nm 套刻精度与每小时 400 片产能**

_佳能发布 KrF 半导体光刻机 FPA-6400ES6a，宣称实现高生产率和业界高水平套刻精度_

> 佳能在 2026 年 11 月 10 日宣布将于 2026 年 12 月发售面向存储和逻辑芯片的 KrF 扫描式光刻机 FPA-6400ES6a。该设备通过超高加速度载台和震动抑制技术，实现了业界高水平的 4.0nm 套刻精度及每小时 400 片的高产能。此外，新增的 Hi-ALS 光源支持多波长对准，并配合晶圆翘曲控制技术将可应对翘曲量扩大至 700μm，同时通过电力控制技术提升能效并兼顾环保。

**来源信息**
- **来源**：IT之家（RSS）
- **分类**：行业
- **发布时间**：2026-11-11 16:24（北京时间）
- **原文**：[打开原文](https://www.ithome.com/1/025/574.htm)