**imec利用High NA EUV光刻技术制造出全球首个量子点量子比特器件**

_imec 构建全球首个 High NA EUV 光刻量子点量子比特器件_

> 比利时研究机构imec宣布,成功利用High NA EUV光刻技术制造出全球首个量子点量子比特器件。该技术实现了仅6纳米的门间隙,为硅基自旋量子比特的工业化生产提供了新路径,是量子计算硬件制造的重要突破。

**来源信息**
- **来源**:IT之家(RSS)
- **分类**:论文
- **发布时间**:2026-05-19 17:23(北京时间)
- **原文**:[打开原文](https://www.ithome.com/0/952/417.htm)